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国内射频电源行业技术水平现状【下载】

更新时间  2021-08-29 14:07 阅读
本文摘要:目前国内先进设备的等离子体设备用于的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源大致相同,但在自动化程度上,体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此,要跟上国际水平,还要积极开展以下一些工作。 1、现在国内的射频电源使用的都是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较天,在一些要考虑到体积的地方,容许了它的应用于。因而必须使用新技术、新的元器件,使射频电源固态化,小型化。 2、阻抗匹配网络是准确用于好射频电源的最重要部件。

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目前国内先进设备的等离子体设备用于的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源大致相同,但在自动化程度上,体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此,要跟上国际水平,还要积极开展以下一些工作。  1、现在国内的射频电源使用的都是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较天,在一些要考虑到体积的地方,容许了它的应用于。因而必须使用新技术、新的元器件,使射频电源固态化,小型化。

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  2、阻抗匹配网络是准确用于好射频电源的最重要部件。在国外,电阻自动给定网络已产品化,除了部分喷发物、淀积设备一律用于外,其它等离子体设备,特别是在是RIE都已配有上自动的阻抗匹配网络,从而使设备更加渐趋完备。在国内这方面还是手动的,虽然在一般情况下可以符合工艺拒绝,但操作者时无法离人,略为不留意仍不会给定很差。

用自动代替手动给定也是当务之急的工作。  3、进阔射频电源的应用领域,研制多性能、多品种的射频电源,如宽频带上电源、微波电源等。为电源的发展首创新的道路。

  4、为了较慢地跟上国际水平,引入国外的先进设备技术,根据我国的实际情况,对电源展开改建、改版是发展电源的最慢途径。


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